清洗間安全管理規(guī)范
為保證超凈清洗間的整潔有序,確保工作人員和工作環(huán)境的安全,根據超凈車間清洗間實際情況,特制定以下清洗臺安全管理規(guī)范:
1 、清洗間負責人員負責監(jiān)管清洗間的工作情況,有權糾正和制止違反清洗間管理的人員的行為。
2、有機與無機化藥必須在相應的清洗間分開使用,有機與無機洗間分別獨立使用,不得串用。所有使用化學藥品進行的濕法刻蝕、腐蝕工藝必須在清洗間操作。原則上有機清洗需在有機清洗臺進行,無機清洗、酸堿腐蝕在無機清洗臺進行。嚴禁在同一通風柜中進行有機和無機清洗。
3、清洗操作時,注意個人防護意識,根據操作規(guī)程,無機清洗時,必須佩帶完整的防護,包括:防酸堿手套、圍裙、眼鏡、面罩、護袖等。有機清洗時,若使用有毒或劇毒化藥,如:三氯乙烯、四氯化碳、氯苯等,必須佩帶完整的防護。任何清洗工藝,必須佩帶完好的乳膠手套。所用個人防護用品使用完畢后,必須用水沖洗干凈,避免化藥殘留在防護用品上,影響他人使用,使用完畢后整齊放回原位。
4、使用化學藥品必須預先了解所用化藥的使用注意事項和相應的應急措施。進行清洗操作前必須看化學藥品標識,正確使用化學藥品。
5、清洗操作時,要節(jié)約使用化藥和無塵紙等耗材。新液化藥只能用于清洗樣品,嚴禁新液用于其他用途。要選用適合的器皿,不得用大的器皿清洗小的樣品。化藥用量參考:液面蓋過樣品不要超過1cm。使用新液化藥順序:先使用已開啟試劑,已開啟試劑使用完畢后再開啟新的試劑,并在使用完畢后的空瓶表面寫上“廢”字。
6、清洗操作時,加熱、冷卻、剝離等需要離開時,在無人看管情況下,放置在公共位置的任何溶液必須放置標識牌(使用人、化藥名稱、日期、時間),放置的位置不得影響其他人工作,清洗完畢后,請及時用酒精或丙酮擦除標識牌,沒有標識的行為和標識牌沒有及時清除將視為違規(guī)行為。
7、取新液時,要把新液桶外面的包裝塑料袋和橡皮筋放入垃圾桶,嚴禁放回新液柜。嚴禁把空新廢液桶放回新液柜中。無機廢液桶要放置在裝有廢液回收桶的藍盒子里,有機廢液桶要放置在空廢液瓶整理箱或廢液柜中。用戶如有自己的化藥新液,請做好標識,放置在用戶相應的新液柜中,遵循:有機與無機分開,酸、堿分開放置原則。有機廢液柜未放滿時,嚴禁把廢液瓶放置在地面(只有廢液柜放滿時,才可以把廢液整齊放置在地面)。
8、在使用8槽清洗機進行清洗樣品時,必須使用指定的公共清洗器皿。嚴禁在未經允許的情況下使用別人的清洗器皿,個人和公共清洗器皿使用完畢必須清洗干凈,用氣槍吹干后,放回指定位置。
9、清洗廢液、腐蝕廢液、光刻所用廢液必須按照要求和指示倒入相應的廢液回收桶,擰緊廢液桶蓋時,要向反方向回旋半圈,桶蓋要松。處理無機廢液時,要注意選擇好相應的廢液桶,倒廢液之前加入5倍以上的去離子水稀釋(濃硫酸除外),其中廢液稀釋的水包括原溶液中的水。稀釋時注意:把廢液加入水中稀釋(務必注意順序)。無機廢液傾倒時,要雙手進行同一操作。不要一只手拿廢液或空燒杯,一只手擰松或擰緊廢液桶蓋。
10、廢濃硫酸桶中存放廢液有:(1)、廢濃硫酸占總體積大于50%以上的廢液。(2)、廢純濃硫酸。兩者廢液都不需要稀釋,直接倒入廢濃硫酸桶。如果廢液中濃硫酸總體積比小于50%,則需要加5倍以上去離子水稀釋(廢濃硫酸加入水)倒入廢酸桶。
11、清洗操作時,從一個清洗臺到另一個清洗臺時間間隔一分鐘以上,要關閉相應清洗臺通風門。如果清洗完畢離開清洗間,清理臺面并檢查通風門、燈、超聲機、水浴機的開關電源是否關閉。超聲機使用完畢后及時關上超聲機蓋子。
12、有機廢液回收時,只有丙酮、異丙醇、無水乙醇可以混合回收,其他如:三氯乙烯、四氯化碳、氯苯等有毒化藥要單獨回收并做好標識。有機廢液處理時,要在廢液桶上寫好標識,如果別人已寫好你需要做的標識,而且廢液桶未裝滿,可以不寫標識,直接倒入廢液桶。
13、清洗完畢后,要整理并清洗臺面,并更換一次性乳膠手套。清洗前后要在記錄本上分別登記完整的開始和結束時間、目的、化藥名稱等記錄。
14、廢棄手套、無塵布、無塵紙等請放入垃圾桶,所用化學藥品放回原處,用水沖清洗臺面并用無塵紙擦凈,再用壓縮氮氣吹干清洗臺,保持清洗臺整潔干爽。禁止在清洗臺上遺留任何廢棄物,并及時關閉清洗臺的通風門。清洗間使用人員有義務及時清理所用清洗臺遺留的廢棄物。
15、在傾倒廢液時,要注意觀察是否有廢液遺撒地面,或在清洗結束后,檢查是否有水或其他液體灑落在清洗臺附近的地面,若有一定要及時用無塵紙或其他方式處理干凈。
16、清洗操作時,使用氫氟酸(hf)、氟化銨(nh4f)或(boe)含有氟離子的化藥時,必須用塑料的燒杯、量筒等器皿,禁止用玻璃及石英器皿。
17、配制無機溶液時,遵循:一、有水在配制溶液中的,先倒水,后倒入密度小的化藥,再到入密度大的化藥;二、沒有水在配制溶液中的,先倒密度小的化藥,再倒入密度大的化藥。密度的大小可以根據分子量的大小區(qū)分,一般情況下分子量大的化藥密度大,分子量小的化藥密度小。
18、溶液加熱時,要等到溫度升到設定溫度時,再放上器皿去加熱,加熱完畢后,關閉電源,等溶液冷卻到室溫才可以取出。(一般:有機與無機,酸、堿不能同時加熱操作)。
19、在清洗時,不慎把大量化藥灑在地面或發(fā)現(xiàn)有大量化藥在地面,應立即處理。boe灼傷眼睛或皮膚,一份鐘內用六氟靈沖洗,再用水沖洗,而后立即就醫(yī)。
20、未經許可的情況下,不得擅自攜帶化學藥品進出超凈間。
21、未通過培訓和考核的人員不得擅自使用清洗設備。
22、如果在清洗過程中,有任何疑問,應及早主動與相關工藝負責人人溝通。
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